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リソグラフィ

訳語省略はあり?

訳語の決定において、意図的に省略した部分があったとしても訳抜けにはならないのか?

引き続き露光装置の対訳で、上記のような疑問が沸き上がりました。

*「mover=移動器」の訳し方が正しいかどうかは、ここでは別問題とします。

まずは順を追って、この文の意味を考える

【原文】

The mover 204 may be arranged to move with a higher acceleration and/or velocity in one of the scanning direction and the stepping direction than in the other of the scanning direction and the stepping direction.

【公開訳文】

移動器204は、スキャン方向及びステップ方向のうち一方において、他方よりも速い加速度及び/又は速度で移動するように構成できる。

原文を見ただけだととても複雑な文に見え、「訳すのが難しそう」と怖気づきましたが、分割することでかなり理解しやすくなりました。

The mover 204
  may be arranged
    to move with a higher acceleration and/or velocity
 in one of the scanning direction and the stepping direction
    than
 in the other of the scanning direction and the stepping direction.

補足として、明細書内に記載されている「移動器」の説明がこちらになります。

【原文】

The mover 204 may move in the scanning direction while the substrate W is being exposed by the projection system PS.
The mover 204 may move in the stepping direction while the substrate W is not being exposed by the projection system PS.

【公開訳文】

移動器204は、基板Wが投影システムPSによって露光されている間にスキャン方向に移動できる。
移動器204は、基板Wが投影システムPSによって露光されていない時にステップ方向に移動できる。

露光装置(2018-156100) エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
W:ウエハ
202:基板フォルダ(ウエハチャック)
204:移動器
PS:投影システム(レンズ)

上記の補足説明と図から、ここでの移動器は、下記キヤノンの露光装置内のXYステージと同様のものと思われます。

露光装置およびデバイス製造方法 (P2001-68397A) キヤノン株式会社

一番上の原文と公開訳文に話を戻すと、

この移動器(キヤノンでいうXYステージ)が移動する際の加速度及び/又は速度に関しては、スキャン方向をステップ方向よりも早くしたり、反対にステップ方向をスキャンよりも早くしたりできるような構成にしてもいい

ということでしょうか。

うーん、ここの説明って難しいですね。

ここでやっと疑問点に到着

【原文】

The mover 204 may be arranged to move with a higher acceleration and/or velocity in one of the scanning direction and the stepping direction than in the other of the scanning direction and the stepping direction.

【公開訳文】

移動器204は、スキャン方向及びステップ方向のうち一方において、他方よりも速い加速度及び/又は速度で移動するように構成できる。

上記公開訳文では、than in the other of the scanning direction and the stepping direction他方よりもと省略した形になっています。

省略しない場合、

移動器204は、スキャン方向及びステップ方向のうち一方において、他方のスキャン方向及びステップ方向よりも高加速度及び/又は高速度で移動するように構成できる。

となります(自分の訳)。

省略した方がわかりやすい気もしますが、それが特許明細書の訳文として正しいのかどうかわかりません。

それにしても、1文を考えるのに、時間がかかりすぎます。

もっとスピードを上げる努力をしなくてはいけません。

 

 

 

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