3日間留守にするために、半日キッチンで作り置き用の食事を準備

本日の明細書読みは、1件で終了しました。

今日は、明細書読み以外にやることが満載。

まず、午前中に髪を切りに行きました。

普段ファッションや化粧に興味はありませんが、せっかくSemicon Japanに参加するので、人前に出ても失礼のないくらいのヘアスタイルにしたいと思ったからです。

もともと髪の毛が多い上にうねるようなくせ毛なため、伸びてくるとボサッと野暮ったくなります。

じゃあ、髪を伸ばして結べばいい、と思いきや、髪を長時間しばると、頭が痛くなってくるんですよね。

ということで、ここ数年間はずっとショートヘアで過ごしています。

夜、主人に「髪の毛、切ってきたんだけど、気づいてた？」と聞くと、「へっ？切ったの？」との返事。

会社の男性の同僚はけっこう違いに気づく人が多いのですが、主人はこういうことに疎いのです。

結婚生活が10年を超えると、こんなものなのでしょうか。

午後は、作り置きのおかずを2品と、本日の夕食作りに時間を取られました。

作り置きは、手っ取り早く温めて食べられるシチューを2品です。

トマトベースのものと、ホワイトクリームベースのものを作ったので、1日置きにでも食べてもらうことにします。

ありがたいことに、キッチンで作業をする際に視聴するビデオセミナーは山ほどあります。

上記の理由により、本日の学習の３時間半は、キッチンでビデオセミナーを聴くことに費やしました。

明細書：反射型光学部材萌え

本日の明細書は、ニコンのEUV光を使用した露光装置についてでしたが、明細書内のこの図に一人で萌えていました。

この照明光学系と投影光学系の組み合わせ、すごくないですか？

EUV光は、通常の光学材料を使うと吸収されてしまうので、レチクルや光学部材には反射系部材が使用されていることがほとんどです。

上記の図ですと、EUV光が１３で生成されてからウエハに到着するまでに、レチクルも含めて12枚の反射型光学系が使われています。

この光学系1枚1枚、それぞれ大きさや形が違い、適切に役割分担がされていて、どれか１つでも欠けたら完成できないという、まるでドミノ倒しのような繊細さに圧倒されるんですよね。

上記はASML社の動画で、EUVについて説明されています。

この動画が公開されたのが2009年。

2018年現在の技術は、格段に上をいっていることでしょう。

上記動画は、Gigaphoton社のEUVリソグラフィの光源について説明されています。

実は、今回のSEMICON Japanで、Gigaphoton社のブースがあるかと楽しみにしていました。

しかし、出展社一覧に名前が掲載されていないので、今年は出展しないのでしょう。

とても残念です。

しかし、この明細書の出願人でもあるニコンや、ASML社（ASML社は参加、という形のようですが）、その他にもリソグラフィ関連の企業は出展しているので、ブースに訪れ知識を吸収してこようと思っています。