学習記録（03/13/2018）

ビデオ視聴

・TC0059_岡野の化学（５９）途中まで
・2561_得意分野をＣＶに書けるまでブレイクダウンする方法

読書

・よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み　P84－P97

レジスト関連

感光剤としてのレジストに望まれる特性

• 高感度…少ない光のエネルギーで感光する
• 高解像度…より微細パターンに対応できる
• 高コントラスト…残膜するところとそうでないところの比がおおきい

レジストに含まれるその他特性

• 均一なレジスト膜厚の形成可能
• 下地に対しての密着性が良い
• 耐ドライエッチング性が高い
• 不純物含有量が少ない
• 除去性が良い（アッシングやウェット処理時）

レジストの種類（ポジ型とネガ型）

 

通勤時間中や会社でのランチタイム中に、半導体関連の本を読んだりしています。読み物としては面白いのですが、分からないことがあったり、さらに深く調べたいことがあっても、その場で調べることができません。あまり大っぴらに会社で勉強できませんしね。

家に帰ってからは、家事や子供の世話があり、それが終わったらなるだけ岡野の化学に取り掛かりたいため、昼間に読んだ情報の補充がほとんどできないまま、過ぎていってしまいます。

今現在の優先順位は岡野の化学なので、仕方がないことなのかもしれませんが、やはり不完全燃焼感は残ります。

ブログも中途半端な内容で終わってしまうことが多いので、今後どうしていくか考えていきたいと思います。