学習記録（03/08/2018）

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・TC0051_岡野の化学（５１）

EUV露光技術：7nmノード以降の微細化ロードマップ

予測
・7nm世代：2018年に量産開始し、2019年～2020年には量産が本格化
・5nm世代：2021年までには少量の生産開始、本格的な量産開始時期は2022年～2023年
・3nm世代：予測困難

分解能を高める（解像可能な寸法を短くする＝微細化の）ための手段

1. k1を下げる（0.25以下にはできない）
2. 波長を短くする
3. 開口数を上げる

露光の解像度

• 光源の波長に比例し、光学系の開口数に反比例するため、波長が短くなるか、NA（開口数）が大きく（高く）なると、解像度は向上する。
• パターニング可能な最小寸法(ハーフピッチ)が短くなる。
• レジストの性能や重ね合わせ誤差などに関連した比例係数(プロセス係数)が存在し、比例係数を小さくすることによっても、解像度は高まる。
• EUV露光技術では、光源の波長は5nmであり、これは基本的に動かせず、固定.。
• プロセス係数(k1)の限界値は25。
• となると、解像度の向上のためには、高NA化が求められる。
• ASML社はEUV光学系の開口数を現在の0.33から将来は0.50を超える値に高めることで、5nm世代と3nm世代のロジック量産を可能にするというロードマップを描いている。

レイリーの分解能（Rayleigh’s Equation）

R＝k1 x λ/NA

R（resolution）：解像度（分解能）

k1：比例係数。レジストの解像性能や波長（λ）と開口数（NA）以外の光学系の特性に依存する定数で、理想限界値は0.25

λ：波長

NA：開口数

＊開口数（numerical aperture, NA）：レンズの分解能を求めるための指標。

開口数の値が大きい方が明るさを取り込めるため、基本的には値が大きい方がいい。

開口数 NA は、物体から対物レンズに入射する光線の光軸に対する最大角度を θ、物体と対物レンズの間の媒質の屈折率を n （レンズの屈折率ではない）として、次の式で表される。

ＮＡ＝Ｎsin θ　

 

参考URL：
https://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/semicon/1050712.html
https://staticwww.asml.com/doclib/investor/presentations/2017/asml_20170322_2017-03-22_BAML_Taiwan.pdf
https://ja.wikipedia.org/wiki/%E9%96%8B%E5%8F%A3%E6%95%B0
https://www.americabu.com/asml
http://eetimes.jp/ee/articles/1709/14/news036.html