ビデオ視聴
・TC0059_岡野の化学（５９）途中まで
・2561_得意分野をＣＶに書けるまでブレイクダウンする方法
読書
・よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み P84－P97
レジスト関連
感光剤としてのレジストに望まれる特性
- 高感度…少ない光のエネルギーで感光する
- 高解像度…より微細パターンに対応できる
- 高コントラスト…残膜するところとそうでないところの比がおおきい
レジストに含まれるその他特性
- 均一なレジスト膜厚の形成可能
- 下地に対しての密着性が良い
- 耐ドライエッチング性が高い
- 不純物含有量が少ない
- 除去性が良い（アッシングやウェット処理時）
レジストの種類（ポジ型とネガ型）
通勤時間中や会社でのランチタイム中に、半導体関連の本を読んだりしています。読み物としては面白いのですが、分からないことがあったり、さらに深く調べたいことがあっても、その場で調べることができません。あまり大っぴらに会社で勉強できませんしね。
家に帰ってからは、家事や子供の世話があり、それが終わったらなるだけ岡野の化学に取り掛かりたいため、昼間に読んだ情報の補充がほとんどできないまま、過ぎていってしまいます。
今現在の優先順位は岡野の化学なので、仕方がないことなのかもしれませんが、やはり不完全燃焼感は残ります。
ブログも中途半端な内容で終わってしまうことが多いので、今後どうしていくか考えていきたいと思います。