学習記録（03/06/2018）

ビデオ視聴

・TC0049_岡野の化学（４９）

読書

・よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み　P45－P60

ダブルパターニング技術

微細なパターンを描画するのに二回の露光を行うことで実現しようとする考え（一回の露光での解像度を二回の露光で向上させようという考え）

ダブルパターニングの位置づけ

1. EUV実用化までの“つなぎ”技術
2. 何世代か継続する技術