学習記録(02/20/2018) モンカナ 7年前 ビデオ視聴 ・TC0031_岡野の化学(31) 読書 ・よくわかる最新半導体の基本と仕組み P153-P172 半導体関連覚書 半導体構造に必要な膜の種類 素子分離のための絶縁膜 ゲート絶縁膜 ポリシリコン膜 アルミニウム膜 層間絶縁膜 保護膜(パッシベーション膜) 薄膜の形成方法 熱酸化法 スパッタ法 CVD法 基本CMOS構造(CMOSインバータ)における膜質と用途(参照:よくわかる最新半導体の基本と仕組み)